| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2023 |
| Язык | английский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Kiselev G.B, Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge//High Energy Chemistry. - 2023. - Vol.57, Is.. - P.S227-S233. |
| Ключевые слова |
ВЧ-плазма, пониженное давление |
| Название журнала |
HIGH ENERGY CHEMISTRY
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85170403774&doi=10.1134%2fS0018143923070445&partnerID=40&md5=5bac394edb22d013b555a64d10758e57 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=287195 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2023-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2023-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2023 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Kiselev G.B, Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge//High Energy Chemistry. - 2023. - Vol.57, Is.. - P.S227-S233. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=287195 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
HIGH ENERGY CHEMISTRY |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
ВЧ-плазма |
ru_RU |
| dc.subject |
пониженное давление |
ru_RU |
| dc.title |
Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
