КФУ. Карточка публикации. Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge

RUS

- EN
- 中文
- ES

INVESTIGATION OF THE DISCHARGE CHAMBER EXPANSION REGION INFLUENCE ON THE ELECTRON DENSITY IN AN INDUCTIVELY COUPLED RF DISCHARGE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2023

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Kiselev G.B, Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge//High Energy Chemistry. - 2023. - Vol.57, Is.. - P.S227-S233.

Ключевые слова

ВЧ-плазма, пониженное давление

Название журнала

HIGH ENERGY CHEMISTRY

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85170403774&doi=10.1134%2fS0018143923070445&partnerID=40&md5=5bac394edb22d013b555a64d10758e57

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=287195

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2023-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2023-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2023	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Kiselev G.B, Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge//High Energy Chemistry. - 2023. - Vol.57, Is.. - P.S227-S233.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=287195	ru_RU
dc.description.abstract	HIGH ENERGY CHEMISTRY	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.title	Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU