КФУ. Карточка публикации. И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. 'Физ. высокочастот. разрядов', Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011.

RUS

- EN
- 中文
- ES

И.Ш. АБДУЛЛИН, В.С. ЖЕЛТУХИН, И.В. КРАСИНА, И.Р. САГБИЕВ, Р.Ф. ШАРАФЕЕВ. ВЛИЯНИЕ ГЕОМЕТРИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦА НА РЕЖИМ ОБРАБОТКИ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМОЙ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ // МАТЕР. МЕЖДУНАР. КОНФ. 'ФИЗ. ВЫСОКОЧАСТОТ. РАЗРЯДОВ', КАЗАНЬ, 5-8.04.2011. - КАЗАНЬ: ИЗД-ВО КАЗАН. ГОС. ТЕХНОЛ. УН-ТА, 2011. - С. 107-109

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2011

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Другие авторы

И.Ш. Абдуллин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев

Библиографическое описание на языке оригинала

И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. "Физ. высокочастот. разрядов", Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011. - С. 107-109

Аннотация

Матер. Междунар. конф.

Место издания

Казань

Название журнала

Матер. Междунар. конф.

Издательство

Казан. гос. технол. ун-т

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=30843

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2011-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2011-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2011	ru_RU
dc.identifier.citation	И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. "Физ. высокочастот. разрядов", Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011. - С. 107-109	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=30843	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. Междунар. конф.	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. Междунар. конф.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Казан. гос. технол. ун-т	ru_RU
dc.title	И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. "Физ. высокочастот. разрядов", Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011. - С. 107-109	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU