| Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2025 |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Киселев Глеб Борисович, автор
|
|
Савин Алексей Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Киселев Г.Б. Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент / Г.Б. Киселев, А.Ю. Савин, В.С. Желтухин // Низкотемпературная плазма в процессах нанесенияфункциональных покрытий. Сб. статей XVII Международной научно-технической конференции (Казань, 1-4 октября 2025 г.) / Академия наук Республики Татарстан. - Казань, 2025. - С. 70-74. |
| Аннотация |
Представлены результаты комплексного исследования неинвазивного
метода измерения электронной плотности в приповерхностном слое
тлеющего разряда на основе резонанса поверхностных стоячих
электромагнитных волн. Для валидации метода использована оптическая
эмиссионная спектроскопия и разработана упрощенная двумерная
гидродинамическая модель плазмы в COMSOL Multiphysics. Показано, что
измеренная электронная плотность на поверхности плазменного столба
имеет порядок 10¹³ м -³ и демонстрирует рост с увеличением мощности. |
| Ключевые слова |
плазменная диагностика, тлеющий разряд, диагностика
стоячими волнами, измерение электронной плотности, COMSOL
Multiphysics, плазменная антенна, оптическая эмиссионная спектроскопия. |
| Место издания |
Казань |
| Издательство |
Издательство АН РТ |
| URL |
https://kpfu.ru/portal/docs/F_122732318/NTP.2025.pdf |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=323943 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Киселев Глеб Борисович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Савин Алексей Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2025-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2025-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2025 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Киселев Г.Б. Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент / Г.Б. Киселев, А.Ю. Савин, В.С. Желтухин // Низкотемпературная плазма в процессах нанесенияфункциональных покрытий. Сб. статей XVII Международной научно-технической конференции (Казань, 1-4 октября 2025 г.) / Академия наук Республики Татарстан. - Казань, 2025. - С. 70-74. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=323943 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Представлены результаты комплексного исследования неинвазивного
метода измерения электронной плотности в приповерхностном слое
тлеющего разряда на основе резонанса поверхностных стоячих
электромагнитных волн. Для валидации метода использована оптическая
эмиссионная спектроскопия и разработана упрощенная двумерная
гидродинамическая модель плазмы в COMSOL Multiphysics. Показано, что
измеренная электронная плотность на поверхности плазменного столба
имеет порядок 10¹³ м -³ и демонстрирует рост с увеличением мощности. |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.publisher |
Издательство АН РТ |
ru_RU |
| dc.subject |
плазменная диагностика |
ru_RU |
| dc.subject |
тлеющий разряд |
ru_RU |
| dc.subject |
диагностика
стоячими волнами |
ru_RU |
| dc.subject |
измерение электронной плотности |
ru_RU |
| dc.subject |
COMSOL
Multiphysics |
ru_RU |
| dc.subject |
плазменная антенна |
ru_RU |
| dc.subject |
оптическая эмиссионная спектроскопия. |
ru_RU |
| dc.title |
Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент |
ru_RU |
| dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|