КФУ. Карточка публикации. Chebakova V.,Zheltukhin V., Sheneider M.Simulation of lowered pressure capacity coupled radio-frequency discharge at big interelectrode distances//14th israel conference on Plasma Science and Applications 28.02.2012

RUS

- EN
- 中文
- ES

CHEBAKOVA V.,ZHELTUKHIN V., SHENEIDER M.SIMULATION OF LOWERED PRESSURE CAPACITY COUPLED RADIO-FREQUENCY DISCHARGE AT BIG INTERELECTRODE DISTANCES//14TH ISRAEL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE AND APPLICATIONS 28.02.2012

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2012

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Чебакова Виолетта Юрьевна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Chebakova V.,Zheltukhin V., Sheneider M.Simulation of lowered pressure capacity coupled radio-frequency discharge at big interelectrode distances//14th israel conference on Plasma Science and Applications 28.02.2012

Аннотация

14th israel conference on Plasma Science and Applications

Название журнала

14th israel conference on Plasma Science and Applications

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=53082

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна	ru_RU
dc.date.accessioned	2012-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2012-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2012	ru_RU
dc.identifier.citation	Chebakova V.,Zheltukhin V., Sheneider M.Simulation of lowered pressure capacity coupled radio-frequency discharge at big interelectrode distances//14th israel conference on Plasma Science and Applications 28.02.2012	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=53082	ru_RU
dc.description.abstract	14th israel conference on Plasma Science and Applications	ru_RU
dc.description.abstract	14th israel conference on Plasma Science and Applications	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.title	Chebakova V.,Zheltukhin V., Sheneider M.Simulation of lowered pressure capacity coupled radio-frequency discharge at big interelectrode distances//14th israel conference on Plasma Science and Applications 28.02.2012	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU