Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
ОСОБЕННОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМОЙ В ДИНАМИЧЕСКОМ ВАКУУМЕ. ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. – 2004.- № 6.- С. 68-73.
Форма представленияСтатьи в российских журналах и сборниках
Год публикации2004
  • Галяутдинов Рафаэль Тагирович, автор
  • Кашапов Наиль Фаикович, автор
  • Другие авторы Абдуллин И.Ш.
    Библиографическое описание на языке оригинала Особенности нанесения покрытий высокочастотной плазмой в динамическом вакууме. Прикладная физика. – 2004.- № 6.- С. 68-73.
    Название журнала Прикладная физика
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=65726

    Полная запись метаданных