Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК С ПОМОЩЬЮ СТРУЙНОЙ НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВУЗОВ. АВИАЦИОННАЯ ТЕХНИКА. - 2001.- № 2.- С. 79-80.
Форма представленияСтатьи в российских журналах и сборниках
Год публикации2001
  • Галяутдинов Рафаэль Тагирович, автор
  • Кашапов Наиль Фаикович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Синтез тонких пленок с помощью струйной неравновесной плазмы низкого давления. Известия Вузов. Авиационная техника. - 2001.- № 2.- С. 79-80.
    Название журнала Известия высших учебных заведений. Авиационная техника
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=65733

    Полная запись метаданных