Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
RSS Ins Вконтакте twitter facebook
РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ НАНЕСЕНИЕ ШИРОКОПОЛОСНЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ
Форма представленияСтатьи в российских журналах и сборниках
Год публикации2013
  • Галяутдинов Рафаэль Тагирович, автор
  • Кашапов Наиль Фаикович, автор
  • Лучкин Александр Григорьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий. Вестник КГТУ им. А.Н.Туполева. 2013.- № 4. - С.
    Аннотация Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с. Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.
    Ключевые слова Аномальный тлеющий разряд, магнетронное распыление, широкополосные просветляющие покрытия, вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=76672

    Полная запись метаданных