КФУ. Карточка публикации. Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ НАНЕСЕНИЕ ШИРОКОПОЛОСНЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2013

Авторы, сотрудники КФУ

Галяутдинов Рафаэль Тагирович, автор

Кашапов Наиль Фаикович, автор

Лучкин Александр Григорьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий. Вестник КГТУ им. А.Н.Туполева. 2013.- № 4. - С.

Аннотация

Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с. Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.

Ключевые слова

Аномальный тлеющий разряд, магнетронное распыление, широкополосные просветляющие покрытия, вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=76672

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Галяутдинов Рафаэль Тагирович	ru_RU
dc.contributor.author	Кашапов Наиль Фаикович	ru_RU
dc.contributor.author	Лучкин Александр Григорьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий. Вестник КГТУ им. А.Н.Туполева. 2013.- № 4. - С.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=76672	ru_RU
dc.description.abstract	Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с. Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Аномальный тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	магнетронное распыление	ru_RU
dc.subject	широкополосные просветляющие покрытия	ru_RU
dc.subject	вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда	ru_RU
dc.title	Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU