| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2014 |
|
Валеев Валерий Фердинандович, автор
Гумаров Амир Илдусович, автор
Лядов Николай Михайлович, автор
Нуждин Владимир Иванович, автор
Файзрахманов Ильдар Абдулкабирович, автор
|
| Другие авторы |
В.В. Базаров |
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Лядов Н.М. Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра [Текст] / Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, В.В. Базаров, И.А. Файзрахманов // Журн. тех. физ.. 2014. Т. 84, вып. 5. С. 62-65. |
| Аннотация |
Методом оптической фотометрии в видимой области спектра проведены исследования образцов Al2O3
и ZnO, облученных ионами серебра с энергией 30 keV в широком интервале доз (0.25−1) ? 10^17 ion/cm^2.
Установлено, что на спектрах оптического пропускания облученных образцов появляется селективная
полоса поверхностного плазмонного резонансного поглощения наночастиц серебра, интенсивность которой
немонотонно зависит от дозы облучения. Проведены теоретические расчеты распределения ионов серебра по
глубине в исследованных образцах. Показано, что наблюдаемая в эксперименте немонотонность обусловлена
увеличением коэффициента распыления подложки с ростом дозы облучения. Установлено, что термический
отжиг в вакууме имплантированных слоев Al2O3 до температур 700◦С ведет к заметному уменьшению
ширины полосы плазмонного поглощения без существенного изменения ее интенсивности... |
| Ключевые слова |
Ионная имплантация, Оксид цинка, ZnO, Корунд, Al2O3, Ионы серебра, тонкая пленка |
| URL |
http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/05/p62-65.pdf |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=78842 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Валеев Валерий Фердинандович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Гумаров Амир Илдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Лядов Николай Михайлович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Нуждин Владимир Иванович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Файзрахманов Ильдар Абдулкабирович |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2014 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Лядов Н.М. Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра [Текст] / Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, В.В. Базаров, И.А. Файзрахманов // Журн. тех. физ.. 2014. Т. 84, вып. 5. С. 62-65. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=78842 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Методом оптической фотометрии в видимой области спектра проведены исследования образцов Al2O3
и ZnO, облученных ионами серебра с энергией 30 keV в широком интервале доз (0.25−1) ? 10^17 ion/cm^2.
Установлено, что на спектрах оптического пропускания облученных образцов появляется селективная
полоса поверхностного плазмонного резонансного поглощения наночастиц серебра, интенсивность которой
немонотонно зависит от дозы облучения. Проведены теоретические расчеты распределения ионов серебра по
глубине в исследованных образцах. Показано, что наблюдаемая в эксперименте немонотонность обусловлена
увеличением коэффициента распыления подложки с ростом дозы облучения. Установлено, что термический
отжиг в вакууме имплантированных слоев Al2O3 до температур 700◦С ведет к заметному уменьшению
ширины полосы плазмонного поглощения без существенного изменения ее интенсивности... |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
Ионная имплантация |
ru_RU |
| dc.subject |
Оксид цинка |
ru_RU |
| dc.subject |
ZnO |
ru_RU |
| dc.subject |
Корунд |
ru_RU |
| dc.subject |
Al2O3 |
ru_RU |
| dc.subject |
Ионы серебра |
ru_RU |
| dc.subject |
тонкая пленка |
ru_RU |
| dc.title |
Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
