КФУ. Карточка публикации. ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2014

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Таюрский Дмитрий Альбертович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Д.А. Таюрский, А.Л. Степанов, ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ // Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан", 13-14 ноября 2014 года, Казань.

Аннотация

Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"

Ключевые слова

пористый кремний, ионная имплантация, дифракция отраженных электронов

Название журнала

Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=90700

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Таюрский Дмитрий Альбертович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Д.А. Таюрский, А.Л. Степанов, ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ // Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан", 13-14 ноября 2014 года, Казань.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=90700	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.title	ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU