KFU. Card publication. Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЧ-ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ С ЗАРЯЖЕННЫМ ОБРАЗЦОМ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2021

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Shemakhin Aleksandr Yurevich, author

Shemakhin Evgeniy Yurevich, author

Bibliographic description in the original language

Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S., Shemakhin E.Yu. Matematicheskoe modelirovanie VCh-plazmy ponizhennogo davleniya dlya cilindricheskoy vakuumnoy kamery s zaryazhennym obrazcom // Informacionnye i matematicheskie tekhnologii v nauke i upravlenii. 2021. No 4 (24). S. 44-49. DOI:10.38028/ESI.2021.24.4.004

Annotation

Информационные и математические технологии в науке и управлении

Keywords

ВЧ-плазма, пониженное давление, численное моделирование, уравнение баланса электронов, уравнения Максвелла, концентрация электронов, напряженность электрического поля, математическое моделирование, пониженное давление.

The name of the journal

Информационные и математические технологии в науке и управлении

URL

https://www.imt-journal.ru/archive/public/article?id=212

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=261702&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.contributor.author	Shemakhin Aleksandr Yurevich	ru_RU
dc.contributor.author	Shemakhin Evgeniy Yurevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Шемахин А.Ю., Желтухин В.С., Шемахин Е.Ю. Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом // Информационные и математические технологии в науке и управлении. 2021. No 4 (24). С. 44-49. DOI:10.38028/ESI.2021.24.4.004	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=261702&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Информационные и математические технологии в науке и управлении	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.subject	численное моделирование	ru_RU
dc.subject	уравнение баланса электронов	ru_RU
dc.subject	уравнения Максвелла	ru_RU
dc.subject	концентрация электронов	ru_RU
dc.subject	напряженность электрического поля	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.subject	пониженное давление.	ru_RU
dc.title	Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU