KFU. Card publication. О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm)

- RUS
- 中文
- ES

О ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ФТОРИДНЫХ НЕОДИМ- АКТИВИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ В КАЧЕСТВЕ СВЕТОУПРАВЛЯЕМОГО ЗАТВОРА ДЛЯ ИЗЛУЧЕНИЯ ARF-ЛАЗЕРА (193 NM)

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2021

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Aglyamov Radik Davisovich, author

Lovchev Aleksandr Vladimirovich, author

Morozov Oleg Aleksandrovich, author

Naumov Aleksandr Kondratevich, author

Bibliographic description in the original language

Aglyamov R. .D. O vozmozhnosti primeneniya ftoridnykh neodim- aktivirovannykh kristallov v kachestve svetoupravlyaemogo zatvora dlya izlucheniya ArF-lazera (193 nm) / R.D. Aglyamov, A.K. Naumov, A.V. Lovchev, O.A. Morozov // Optika i spektroskopiya. - 2021. - t.129, - №4 .- S. 521-526.

Annotation

Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного (4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии.

Keywords

фторидный кристалл, ионы неодима, ВУФ, УФ, спектр поглощения, поглощение из возбужденного состояния, оптический затвор, 193 nm, эксимерный ArF-лазер

The name of the journal

Оптика и спектроскопия

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=268660&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Aglyamov Radik Davisovich	ru_RU
dc.contributor.author	Lovchev Aleksandr Vladimirovich	ru_RU
dc.contributor.author	Morozov Oleg Aleksandrovich	ru_RU
dc.contributor.author	Naumov Aleksandr Kondratevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Аглямов Р. .Д. О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm) / Р.Д. Аглямов, А.К. Наумов, А.В. Ловчев, О.А. Морозов // Оптика и спектроскопия. - 2021. - т.129, - №4 .- С. 521-526.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=268660&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Оптика и спектроскопия	ru_RU
dc.description.abstract	Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного (4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	фторидный кристалл	ru_RU
dc.subject	ионы неодима	ru_RU
dc.subject	ВУФ	ru_RU
dc.subject	УФ	ru_RU
dc.subject	спектр поглощения	ru_RU
dc.subject	поглощение из возбужденного состояния	ru_RU
dc.subject	оптический затвор	ru_RU
dc.subject	193 nm	ru_RU
dc.subject	эксимерный ArF-лазер	ru_RU
dc.title	О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm)	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU