Form of presentation | Articles in Russian journals and collections |
Year of publication | 2013 |
|
Galyautdinov Rafael Tagirovich, author
Kashapov Nail Faikovich, author
Luchkin Aleksandr Grigorevich, author
|
Bibliographic description in the original language |
Reaktivnoe magnetronnoe nanesenie shirokopolosnykh prosvetlyayushhikh pokrytiy. Vestnik KGTU im. A.N.Tupoleva. 2013.- № 4. - S. |
Annotation |
Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с.
Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.
|
Keywords |
Аномальный тлеющий разряд, магнетронное распыление, широкополосные просветляющие покрытия, вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда |
Please use this ID to quote from or refer to the card |
https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=76672&p_lang=2 |
Full metadata record |
Field DC |
Value |
Language |
dc.contributor.author |
Galyautdinov Rafael Tagirovich |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Kashapov Nail Faikovich |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Luchkin Aleksandr Grigorevich |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2013-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2013-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2013 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий. Вестник КГТУ им. А.Н.Туполева. 2013.- № 4. - С. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=76672&p_lang=2 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с.
Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.
|
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
Аномальный тлеющий разряд |
ru_RU |
dc.subject |
магнетронное распыление |
ru_RU |
dc.subject |
широкополосные просветляющие покрытия |
ru_RU |
dc.subject |
вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда |
ru_RU |
dc.title |
Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий |
ru_RU |
dc.type |
Articles in Russian journals and collections |
ru_RU |
|