КФУ. Карточка публикации. Способ изготовления пористого кремния

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

Форма представления

Российские патенты

Год публикации

2015

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Валеев Валерий Фердинандович, автор

Нуждин Владимир Иванович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Пат. 2547515 Российская Федерация, МПК С30B 31/22; С30B 29/06; С01B 33/02; B82B 3/00; B82Y 30/00; B82Y 40/00 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н.- № 2014114101/05, заявл. 09.04.2014, опубл.10.04.15, Бюл.№ 10. - 2 с.

Ключевые слова

кремний, пористый кремний, ионная имплантация

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=106906

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Patent.2547515.pdf	0,23	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев Валерий Фердинандович	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин Владимир Иванович	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Пат. 2547515 Российская Федерация, МПК С30B 31/22; С30B 29/06; С01B 33/02; B82B 3/00; B82Y 30/00; B82Y 40/00 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н.- № 2014114101/05, заявл. 09.04.2014, опубл.10.04.15, Бюл.№ 10. - 2 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=106906	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.title	Способ изготовления пористого кремния	ru_RU
dc.type	Российские патенты	ru_RU