КФУ. Карточка публикации. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

Форма представления

Российские патенты

Год публикации

2015

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Валеев Валерий Фердинандович, автор

Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович, автор

Нуждин Владимир Иванович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Пат. 2544873 Российская Федерация, МПК G02B 5/18; H01L 21/265; H01L 21/425 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2013158578/28, заявл. 27.12.2013, опубл.20.03.15, Бюл.№ 8. - 3 с

Ключевые слова

пористый кремний, ионная имплантация, дифракционная решетка

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=106907

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев Валерий Фердинандович	ru_RU
dc.contributor.author	Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин Владимир Иванович	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Пат. 2544873 Российская Федерация, МПК G02B 5/18; H01L 21/265; H01L 21/425 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2013158578/28, заявл. 27.12.2013, опубл.20.03.15, Бюл.№ 8. - 3 с	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=106907	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	дифракционная решетка	ru_RU
dc.title	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ	ru_RU
dc.type	Российские патенты	ru_RU