КФУ. Карточка публикации. Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

МОДИФИКАЦИЯ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2015

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Валеев В Ф, автор

Нуждин Владимир Иванович, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Степанов А.Л. Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра// Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Московский Государственный Университет, – г. Москва, 26-28 мая 2015. – С. 355

Аннотация

Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Ключевые слова

пористый кремний, наночастицы серебра, ионная имплантация

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=110886

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев В Ф	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин Владимир Иванович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Степанов А.Л. Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра// Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Московский Государственный Университет, – г. Москва, 26-28 мая 2015. – С. 355	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=110886	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	наночастицы серебра	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.title	Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU