Форма представления | Российские патенты |
Год публикации | 2015 |
Язык | русский |
|
Осин Юрий Николаевич, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
|
Валеев Валерий Фердинандович, автор
Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович, автор
Нуждин Владимир Иванович, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Пат. 155283 Российская Федерация, МПК G02B 5/18. ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2015110723/28, заявл. 25.03.2015, опубл.27.09.15, Бюл.№ 27. - 3 с |
Ключевые слова |
Кремний, дифракционная структура, ионная имплантация. |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=114892 |
Файлы ресурса | |
|
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Валеев Валерий Фердинандович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Нуждин Владимир Иванович |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2015-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2015-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2015 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Пат. 155283 Российская Федерация, МПК G02B 5/18. ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2015110723/28, заявл. 25.03.2015, опубл.27.09.15, Бюл.№ 27. - 3 с |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=114892 |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
Кремний |
ru_RU |
dc.subject |
дифракционная структура |
ru_RU |
dc.subject |
ионная имплантация. |
ru_RU |
dc.title |
ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ |
ru_RU |
dc.type |
Российские патенты |
ru_RU |
|