КФУ. Карточка публикации. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра

RUS

- EN
- 中文
- ES

СРАВНИТЕЛЬНЫЕ НАБЛЮДЕНИЯ МЕТОДАМИ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО НИЗКИМИ ДОЗАМИ ИОНОВ СЕРЕБРА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2015

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Базаров Валерий Вячеславович, автор

Валеев В Ф, автор

Нуждин Владимир Иванович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Базаров В.В. Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра// Сборник трудов 11-ой международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». – Минск, Беларусь, 23-25 сентября 2015, С. 98-100.

Аннотация

Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?

Ключевые слова

дифракция отраженных электронов, имплантация, кремний

Название журнала

Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=115947

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Bazarov.pdf	0,62	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Базаров Валерий Вячеславович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев В Ф	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин Владимир Иванович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Базаров В.В. Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра// Сборник трудов 11-ой международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». – Минск, Беларусь, 23-25 сентября 2015, С. 98-100.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=115947	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.subject	имплантация	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.title	Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU