Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
СРАВНИТЕЛЬНЫЕ НАБЛЮДЕНИЯ МЕТОДАМИ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО НИЗКИМИ ДОЗАМИ ИОНОВ СЕРЕБРА
Форма представленияТезисы и материалы конференций в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2015
Языкрусский
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Степанов Андрей Львович, автор
  • Базаров Валерий Вячеславович, автор
  • Валеев В Ф, автор
  • Нуждин Владимир Иванович, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Базаров В.В. Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра// Сборник трудов 11-ой международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». – Минск, Беларусь, 23-25 сентября 2015, С. 98-100.
    Аннотация Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?
    Ключевые слова дифракция отраженных электронов, имплантация, кремний
    Название журнала Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=115947
    Файлы ресурса 
    Название файла Размер (Мб) Формат  
    Bazarov.pdf 0,62 pdf посмотреть / скачать

    Полная запись метаданных