КФУ. Карточка публикации. Magnetron discharge volt-ampere characteristic investigation at thin film coating process

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

MAGNETRON DISCHARGE VOLT-AMPERE CHARACTERISTIC INVESTIGATION AT THIN FILM COATING PROCESS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2014

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Кашапов Наиль Фаикович, автор

Лучкин Александр Григорьевич, автор

Лучкин Григорий Сергеевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Luchkin, G.S. Magnetron discharge volt-ampere characteristic investigation at thin film coating process/Luchkin, A.G., Kashapov, N.F. IOP Conference Series: Material Sciences and Engineering Vol. 69, Issue 1, 2014, Article number 012030

Аннотация

IOP Conference Series: Material Sciences and Engineering

Ключевые слова

Магнетрон, пленки, разряд

Название журнала

IOP Conference Series: Material Sciences and Engineering

URL

http://www.ingentaconnect.com/content/iop/mse/2014/00000069/00000001/art012030

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=125464

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Кашапов Наиль Фаикович	ru_RU
dc.contributor.author	Лучкин Александр Григорьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Лучкин Григорий Сергеевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Luchkin, G.S. Magnetron discharge volt-ampere characteristic investigation at thin film coating process/Luchkin, A.G., Kashapov, N.F. IOP Conference Series: Material Sciences and Engineering Vol. 69, Issue 1, 2014, Article number 012030	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=125464	ru_RU
dc.description.abstract	IOP Conference Series: Material Sciences and Engineering	ru_RU
dc.description.abstract	Исследование вольт-амперных характеристик магнетронного разряда в процессе нанесени тонкопленочных покрытий.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Магнетрон	ru_RU
dc.subject	пленки	ru_RU
dc.subject	разряд	ru_RU
dc.title	Magnetron discharge volt-ampere characteristic investigation at thin film coating process	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU