КФУ. Карточка публикации. Radio-Frequency Discharge at Low Pressure: a Non-Local Problem Statement Approach

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

RADIO-FREQUENCY DISCHARGE AT LOW PRESSURE: A NON-LOCAL PROBLEM STATEMENT APPROACH

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Дубровин Вячеслав Тимофеевич, автор

Другие авторы

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

V.T. Dubrovin, V.Ju. Chebakova, V.S. Zheltukhin, Radio-Frequency Discharge at Low Pressure: a Non-Local Problem Statement Approach // Procedia Engineering. – 2016. – Vol. 150. – P. 1041–1045 http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2016.07.211

Ключевые слова

высокочастотный емкостный разряд

Название журнала

Procedia Engineering

URL

http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2016.07.211

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=136180

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Дубровин Вячеслав Тимофеевич	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	V.T. Dubrovin, V.Ju. Chebakova, V.S. Zheltukhin, Radio-Frequency Discharge at Low Pressure: a Non-Local Problem Statement Approach // Procedia Engineering. – 2016. – Vol. 150. – P. 1041–1045 http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2016.07.211	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=136180	ru_RU
dc.description.abstract	Procedia Engineering	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Radio-Frequency Discharge at Low Pressure: a Non-Local Problem Statement Approach	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU