КФУ. Карточка публикации. Эффективность очистки поверхности с помощью тлеющего разряда под нанесение покрытий плазменным напылением

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ С ПОМОЩЬЮ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОД НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Фадеев Сергей Алексеевич, автор

Шарифуллин Саид Насибуллович, автор

Другие авторы

Кадырметов Анвар Минирович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Кадырметов А.М. Эффективность очистки поверхности с помощью тлеющего разряда под нанесение покрытий плазменным напылением / А.М. Кадырметов, С.Н. Шарифуллин, С.А. Фадеев // Сборник статей VII Всероссийской (с международным участием) научно-технической конференции «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» 4 – 7 ноября 2015 г. – Казань: Отечество, 2016. – С. 47-54.

Аннотация

Сборник статей VII Всероссийской (с международным участием) научно-технической конференции ?Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 4 ? 7 ноября 2015 г.

Ключевые слова

тлеющий разряд, очистка поверхности, плазменное напыление

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=138559

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Фадеев Сергей Алексеевич	ru_RU
dc.contributor.author	Шарифуллин Саид Насибуллович	ru_RU
dc.contributor.author	Кадырметов Анвар Минирович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Кадырметов А.М. Эффективность очистки поверхности с помощью тлеющего разряда под нанесение покрытий плазменным напылением / А.М. Кадырметов, С.Н. Шарифуллин, С.А. Фадеев // Сборник статей VII Всероссийской (с международным участием) научно-технической конференции «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» 4 – 7 ноября 2015 г. – Казань: Отечество, 2016. – С. 47-54.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=138559	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник статей VII Всероссийской (с международным участием) научно-технической конференции ?Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 4 ? 7 ноября 2015 г.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	очистка поверхности	ru_RU
dc.subject	плазменное напыление	ru_RU
dc.title	Эффективность очистки поверхности с помощью тлеющего разряда под нанесение покрытий плазменным напылением	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU