| Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2016 |
| Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Лядов Николай Михайлович, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
|
Баталов Рафаэль Ильясович, автор
Баязитов Р М, автор
Валеев В Ф, автор
Галкин К Н, автор
Ивлев Г. Д., автор
Нуждин В И, автор
|
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Баязитов Р.М., Лядов Н.М., Галкин К.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л., Формирование сплава GeSi с наночастицами Ag путем ионной имплантации и лазерного отжига // Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016» - Новосибирск, 12-15 сентября 2016, С. 148. |
| Аннотация |
Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе ?Кремний-2016? |
| Ключевые слова |
твердый сплав, германий, ионная имплантация |
| Название журнала |
Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе ?Кремний-2016?
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=139075 |
| Файлы ресурса | |
|
|
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Лядов Николай Михайлович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Баталов Рафаэль Ильясович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Баязитов Р М |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Валеев В Ф |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Галкин К Н |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ивлев Г. Д. |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Нуждин В И |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2016 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Баязитов Р.М., Лядов Н.М., Галкин К.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л., Формирование сплава GeSi с наночастицами Ag путем ионной имплантации и лазерного отжига // Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016» - Новосибирск, 12-15 сентября 2016, С. 148. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=139075 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе ?Кремний-2016? |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
твердый сплав |
ru_RU |
| dc.subject |
германий |
ru_RU |
| dc.subject |
ионная имплантация |
ru_RU |
| dc.title |
Формирование сплава GeSi с наночастицами Ag путем ионной имплантации и лазерного отжига |
ru_RU |
| dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|