КФУ. Карточка публикации. Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов

RUS

- EN
- 中文
- ES

АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Базаров Валерий Вячеславовоич, автор

Баталов Рафаэль Ильясович, автор

Валеев В Ф, автор

Нуждин Владимир Иванович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Степанов А.Л., Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов // Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» — Нижний Новгород: НГУ им. Н.И. Лобачевского, 24-27 октября 2016, С. 27.

Аннотация

Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?

Ключевые слова

эллипсометрия, дифракция отраженных электронов, кристаллическая структура

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=143177

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Tezisy_dokladov_FFHOII_2016.pdf	17,51	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Базаров Валерий Вячеславовоич	ru_RU
dc.contributor.author	Баталов Рафаэль Ильясович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев В Ф	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин Владимир Иванович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Степанов А.Л., Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов // Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» — Нижний Новгород: НГУ им. Н.И. Лобачевского, 24-27 октября 2016, С. 27.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=143177	ru_RU
dc.description.abstract	Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.subject	кристаллическая структура	ru_RU
dc.title	Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU