КФУ. Карточка публикации. Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

МИКРОСКОПИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИ - СТРУКТУРИРОВАННЫХ СЛОЕВ СФОРМИРОВАННЫХ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Евтюгин Владимир Геннадьевич, автор

Морозова Анна Сергеевна, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Рогов Алексей Михайлович, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Нуждин В. И., автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Морозова А.С. Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией / А.С. Морозова, А.М. Рогов, В.В. Воробьев, В.Г. Евтюгин, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 112 - 113

Аннотация

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

Ключевые слова

Атомно-силовая микроскопия, сканирующая электронная микроскопия, пористые полупроводниковые материалы, ионная имплатнация

Название журнала

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

URL

https://nanocenter.urfu.ru/sites/default/files/%21SPM-2017%20Abstract%20book.pdf

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=162738

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Евтюгин Владимир Геннадьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Морозова Анна Сергеевна	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин В. И.	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Морозова А.С. Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией / А.С. Морозова, А.М. Рогов, В.В. Воробьев, В.Г. Евтюгин, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 112 - 113	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=162738	ru_RU
dc.description.abstract	Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference	ru_RU
dc.description.abstract	Описан способ получения структурированного композиционного материала на подложке из халькогенидного стекла (GeSe) при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности GeSe образуется дифракционная решетка с периодом ~ 25 мкм и высотой ступенек ~ 170-200 нм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Атомно-силовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	сканирующая электронная микроскопия	ru_RU
dc.subject	пористые полупроводниковые материалы	ru_RU
dc.subject	ионная имплатнация	ru_RU
dc.title	Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU