КФУ. Карточка публикации. Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа

RUS

- EN
- 中文
- ES

УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИОННЫМ ИСТОЧНИКОМ НА ОСНОВЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ПОПЕРЕЧНОМ СВЕРХЗВУКОВОМ ПОТОКЕ ГАЗА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Исрафилов Данис Ирекович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Исрафилов Д.И. Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа / Д. И. Исрафилов // Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016 (МНТК «ИМТОМ-2016«) Материалы Международной научно-технической конференции. 2016. С. 75-79.

Аннотация

Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016

Ключевые слова

система управления, тлеющий разряд

Название журнала

Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=162857

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Исрафилов Данис Ирекович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Исрафилов Д.И. Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа / Д. И. Исрафилов // Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016 (МНТК «ИМТОМ-2016«) Материалы Международной научно-технической конференции. 2016. С. 75-79.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=162857	ru_RU
dc.description.abstract	Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016	ru_RU
dc.description.abstract	Обработка поверхностей тлеющим разрядом в поперечном потоке газа дает ряд преимуществ перед магнетронным разрядом. Распыление мишени при более низких давлениях, что повышает чистоту нанесенного материал. Также более равномерная эрозия мишени и толщина нанесенного покрытия. Однако необходимо разработать систему управления тлеющим разрядом в поперечном потоке рабочего газа, что позволит получать изделия с заданными характеристиками	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	система управления	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.title	Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU