Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
СОЗДАНИЕ НАПРЯЖЕННЫХ И СИЛЬНО ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ N+-GE:SB С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОЩНЫХ ЛАЗЕРНЫХ И ИОННЫХ ПУЧКОВ
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2017
Языкрусский
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Баталов Р И, автор
  • Баязитов Р М, автор
  • Ивлев Г Д, автор
  • Новиков Г А, автор
  • Файзрахманов И А, автор
  • Шустов В А, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, И.А. Файзрахманов, В.А. Шустов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, Г.Д. Ивлев. Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков // Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017», Новосибирск, 11-15.09.2017, С. 61.
    Аннотация Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017?
    Ключевые слова легированные слои, ионный отжиг, лазерный отжиг
    Название журнала Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017?
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=166612
    Файлы ресурса 
    Название файла Размер (Мб) Формат  
    F_Sbornik_tezisov_FOTONIKA_2017.pdf 5,84 pdf посмотреть / скачать

    Полная запись метаданных