| Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2017 |
| Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
|
|
Баталов Р И, автор
Баязитов Р М, автор
Ивлев Г Д, автор
Новиков Г А, автор
Файзрахманов И А, автор
Шустов В А, автор
|
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, И.А. Файзрахманов, В.А. Шустов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, Г.Д. Ивлев. Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков // Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017», Новосибирск, 11-15.09.2017, С. 61. |
| Аннотация |
Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017? |
| Ключевые слова |
легированные слои, ионный отжиг, лазерный отжиг |
| Название журнала |
Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017?
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=166612 |
| Файлы ресурса | |
|
|
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Баталов Р И |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Баязитов Р М |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ивлев Г Д |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Новиков Г А |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Файзрахманов И А |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шустов В А |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2017 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, И.А. Файзрахманов, В.А. Шустов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, Г.Д. Ивлев. Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков // Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017», Новосибирск, 11-15.09.2017, С. 61. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=166612 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017? |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
легированные слои |
ru_RU |
| dc.subject |
ионный отжиг |
ru_RU |
| dc.subject |
лазерный отжиг |
ru_RU |
| dc.title |
Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков |
ru_RU |
| dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
