КФУ. Карточка публикации. Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

СПОСОБ ОБРАБОТКИ АЛЮМИНИЕВЫХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ

Форма представления

Российские патенты

Год публикации

1979

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Шарифуллин Саид Насибуллович, автор

Другие авторы

Абдуллин Ильдар Шаукатович, автор

Даутов Гали Юнусович, автор

Самигуллин Амир , автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Авт.свид.№660420 от 8.01.1979. Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках /И.Ш. Абдуллин, Г.Ю. Даутов, А.А. Самигуллин, С.Н. Шарифуллин //Бюллетень изобретений, 1979. –№ 10.

Аннотация

Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках плазменной струей низкого давления ВЧИ плазмы позволяет улучшить структуру пленок, удалить примеси, повысить диэлектрические показатели.

Ключевые слова

алюминиевая пленка, обработка, безэлектродный плазмотрон. ВЧИ плазма, низкое давление, плазменная струя, подложка

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=172198

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шарифуллин Саид Насибуллович	ru_RU
dc.contributor.author	Абдуллин Ильдар Шаукатович	ru_RU
dc.contributor.author	Даутов Гали Юнусович	ru_RU
dc.contributor.author	Самигуллин Амир	ru_RU
dc.date.accessioned	1979-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	1979-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	1979	ru_RU
dc.identifier.citation	Авт.свид.№660420 от 8.01.1979. Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках /И.Ш. Абдуллин, Г.Ю. Даутов, А.А. Самигуллин, С.Н. Шарифуллин //Бюллетень изобретений, 1979. –№ 10.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=172198	ru_RU
dc.description.abstract	Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках плазменной струей низкого давления ВЧИ плазмы позволяет улучшить структуру пленок, удалить примеси, повысить диэлектрические показатели.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	алюминиевая пленка	ru_RU
dc.subject	обработка	ru_RU
dc.subject	безэлектродный плазмотрон. ВЧИ плазма	ru_RU
dc.subject	низкое давление	ru_RU
dc.subject	плазменная струя	ru_RU
dc.subject	подложка	ru_RU
dc.title	Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках	ru_RU
dc.type	Российские патенты	ru_RU