Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS SYNTHESIZED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2017
  • Вахитов Искандер Рашидович, автор
  • Гумаров Амир Илдусович, автор
  • И Яньпин , автор
  • Киямов Айрат Газинурович, автор
  • Никитин Сергей Иванович, автор
  • Тагиров Ленар Рафгатович, автор
  • Харинцев Сергей Сергеевич, автор
  • Юсупов Роман Валерьевич, автор
  • Мохаммед Ваель Мохаммед Махмуд, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Reactive dc magnetron sputtering was employed to produce thin films of titanium nitride using titanium metallic target, argon as the plasma gas and nitrogen as the reactive gas. A set of the films was studied deposited on the Si, fused silica and crystalline (001) MgO substrates with various deposition conditions. The films deposited on the Si and SiO2 substrates are polycrystalline while deposited at slow rate to the heated to 600C MgO substrate are highly epitaxial according both to XRD and LEED data. Electrical resistivity of the films was measured by means of the four-probe van der Pauw method.
    Аннотация Reactive dc magnetron sputtering was employed to produce thin films of titanium nitride using titanium metallic target, argon as the plasma gas and nitrogen as the reactive gas. A set of the films was studied deposited on the Si, fused silica and crystalline (001) MgO substrates with various deposition conditions. The films deposited on the Si and SiO2 substrates are polycrystalline while deposited at slow rate to the heated to 600C MgO substrate are highly epitaxial according both to XRD and LEED data. Electrical resistivity of the films was measured by means of the four-probe van der Pauw method.
    Ключевые слова polycrystalline- van-der Pauw method - four point prob
    Место издания United Kingdom
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    Издательство IOP Science, scopus
    URL http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/927/1/012036
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=184697

    Полная запись метаданных