| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2019 |
| Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Рогов Алексей Михайлович, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
|
Валеев В Ф, автор
Ермаков М А, автор
Нуждин В И, автор
Табачкова Н Ю, автор
Эйдельман К Б, автор
|
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Ермаков М.А., Степанов А.Л., Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами // Журнал технической физики, 2019, том 89, вып. 2, С 226-234, DOI: 10.21883/JTF.2019.02.47075.145-18 |
| Аннотация |
Микроскопия поверхности кремния |
| Ключевые слова |
Микроскопия, поверхность кремния, ионы серебра |
| Название журнала |
Журнал технической физики
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=194910 |
| Файлы ресурса | |
|
|
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Рогов Алексей Михайлович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Валеев В Ф |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ермаков М А |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Нуждин В И |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Табачкова Н Ю |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Эйдельман К Б |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2019 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Ермаков М.А., Степанов А.Л., Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами // Журнал технической физики, 2019, том 89, вып. 2, С 226-234, DOI: 10.21883/JTF.2019.02.47075.145-18 |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=194910 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Журнал технической физики |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Микроскопия поверхности кремния |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
Микроскопия |
ru_RU |
| dc.subject |
поверхность кремния |
ru_RU |
| dc.subject |
ионы серебра |
ru_RU |
| dc.title |
Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
