| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2020 |
| Язык | русский |
|
Гумаров Амир Илдусович, автор
Тагиров Ленар Рафгатович, автор
Янилкин Игорь Витальевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Лядов Н.М. Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+ / Н.М. Лядов, Т.П. Гаврилова, С.М. Хантимеров, В.В. Базаров, Н.М. Сулейманов, В.А. Шустов, В.И. Нуждин, И.В. Янилкин, А.И. Гумаров, И.А. Файзрахманов, Л.Р. Тагиров // Письма в ЖТФ. - 2020. - T.46, №14. - C. 33-35. |
| Аннотация |
Представлены результаты исследования морфологии наноструктурированных ионной имплантацией пленок германия. Образцы пленок были выращены с использованием метода магнетронного распыления на сверхвысоковакуумной установке и затем облучены ионами Ge+ с энергией 40 keV в интервале доз (1.8-8)? 1016 ion/cm2. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что с увеличением дозы имплантации в объеме имплантированного германия постепенно формируются вакансионные комплексы диаметром ~ 50-150 nm, которые при достижении определенной дозы имплантации выходят на поверхность, образуя развитый рельеф облученных пленок. Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы. |
| Ключевые слова |
наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы |
| Название журнала |
Письма в Журнал технической физики
|
| URL |
http://journals.ioffe.ru/articles/49664 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=234427 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Гумаров Амир Илдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Тагиров Ленар Рафгатович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Янилкин Игорь Витальевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2020 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Лядов Н.М. Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+ / Н.М. Лядов, Т.П. Гаврилова, С.М. Хантимеров, В.В. Базаров, Н.М. Сулейманов, В.А. Шустов, В.И. Нуждин, И.В. Янилкин, А.И. Гумаров, И.А. Файзрахманов, Л.Р. Тагиров // Письма в ЖТФ. - 2020. - T.46, №14. - C. 33-35. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=234427 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Письма в Журнал технической физики |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Представлены результаты исследования морфологии наноструктурированных ионной имплантацией пленок германия. Образцы пленок были выращены с использованием метода магнетронного распыления на сверхвысоковакуумной установке и затем облучены ионами Ge+ с энергией 40 keV в интервале доз (1.8-8)? 1016 ion/cm2. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что с увеличением дозы имплантации в объеме имплантированного германия постепенно формируются вакансионные комплексы диаметром ~ 50-150 nm, которые при достижении определенной дозы имплантации выходят на поверхность, образуя развитый рельеф облученных пленок. Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы. |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
наноструктурированный германий |
ru_RU |
| dc.subject |
ионная имплантация |
ru_RU |
| dc.subject |
литий-ионные аккумуляторы |
ru_RU |
| dc.title |
Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+ |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
