| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2020 |
| Язык | английский |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, Study of RF plasma flow at low pressure: Electron temperature influence//Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - Vol.1588, Is.1. - Art. № 012062. |
| Ключевые слова |
RF plasma, low pressure,electron temperature |
| Название журнала |
Journal of Physics: Conference Series
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85090781521&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1588%2f1%2f012062&partnerID=40&md5=b5f3988d3ab9930eeb70349f7d19e194 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=238997 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2020 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, Study of RF plasma flow at low pressure: Electron temperature influence//Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - Vol.1588, Is.1. - Art. № 012062. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=238997 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Journal of Physics: Conference Series |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
RF plasma |
ru_RU |
| dc.subject |
low pressure |
ru_RU |
| dc.subject |
electron temperature |
ru_RU |
| dc.title |
Study of RF plasma flow at low pressure: Electron temperature influence |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
