КФУ. Карточка публикации. About enhance the functionality of microelectromechanical system

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ABOUT ENHANCE THE FUNCTIONALITY OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Бахтиева Ляля Узбековна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Bogolyubov V.M., Bakhtieva L.U. About enhance the functionality of microelectromechanical system // AIP Conference Proceedings. - 2022. - Vol. 2383, Art. №050004. https://doi.org/10.1063/5.0074482

Ключевые слова

MEMS

Название журнала

AIP Conference Proceedings

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85129819278&doi=10.1063%2f5.0074482&partnerID=40&md5=d7f87fc7aa8e739479325ff165404f0c

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=266776

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Бахтиева Ляля Узбековна	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Bogolyubov V.M., Bakhtieva L.U. About enhance the functionality of microelectromechanical system // AIP Conference Proceedings. - 2022. - Vol. 2383, Art. №050004. https://doi.org/10.1063/5.0074482	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=266776	ru_RU
dc.description.abstract	AIP Conference Proceedings	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	About enhance the functionality of microelectromechanical system	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU