КФУ. Карточка публикации. Experimental installation for study the low-power ICRF plasma at low pressures with equipment for experiment data synchronization

RUS

EXPERIMENTAL INSTALLATION FOR STUDY THE LOW-POWER ICRF PLASMA AT LOW PRESSURES WITH EQUIPMENT FOR EXPERIMENT DATA SYNCHRONIZATION

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Терентьев Тимур Николаевич, автор

Другие авторы

Желтухин В С, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

T N Terentev et al 2022 J. Phys.: Conf. Ser. 2270 012014

Аннотация

Journal of Physics: Conference Series

Ключевые слова

cold RF plasma, capacitive coupled plasma, inductive coupled plasma

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://doi.org/10.1088/1742-6596/2270/1/012014

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Terentev_2022_J._Phys.__Conf._Ser._2270_012014.pdf	0,52	pdf	посмотреть / скачать

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Терентьев Тимур Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Евгений Юрьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин В С	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	T N Terentev et al 2022 J. Phys.: Conf. Ser. 2270 012014	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=267180	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.description.abstract	Abstract. An installation for numerical and experimental studies of low-pressure radio frequency plasma for surface modification of functional materials with equipment for data synchronization are presented. The equipment for data synchronization as well as intermediate results for plasma generation are showed.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	cold RF plasma	ru_RU
dc.subject	capacitive coupled plasma	ru_RU
dc.subject	inductive coupled plasma	ru_RU
dc.title	Experimental installation for study the low-power ICRF plasma at low pressures with equipment for experiment data synchronization	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU