КФУ. Карточка публикации. Spectral studies of inductively coupled plasma characteristics of low pressure discharges for two configurations of vacuum chambers

RUS

- EN
- 中文
- ES

SPECTRAL STUDIES OF INDUCTIVELY COUPLED PLASMA CHARACTERISTICS OF LOW PRESSURE DISCHARGES FOR TWO CONFIGURATIONS OF VACUUM CHAMBERS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Тюрин Владимир Александрович, автор

Фадеев Сергей Алексеевич, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin Yu.A, Samsonova E.S, Voznesenskiy E.F, Spectral studies of inductively coupled plasma characteristics of low pressure discharges for two configurations of vacuum chambers//Journal of Physics: Conference Series. - 2022. - Vol.2270, Is.1. - Art. №012007.

Ключевые слова

RF plasma, spectral studies, low pressure

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85131869171&doi=10.1088%2f1742-6596%2f2270%2f1%2f012007&partnerID=40&md5=972982cdf5b9e153ff820939e13ef1a5

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=270266

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Тюрин Владимир Александрович	ru_RU
dc.contributor.author	Фадеев Сергей Алексеевич	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin Yu.A, Samsonova E.S, Voznesenskiy E.F, Spectral studies of inductively coupled plasma characteristics of low pressure discharges for two configurations of vacuum chambers//Journal of Physics: Conference Series. - 2022. - Vol.2270, Is.1. - Art. №012007.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=270266	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	spectral studies	ru_RU
dc.subject	low pressure	ru_RU
dc.title	Spectral studies of inductively coupled plasma characteristics of low pressure discharges for two configurations of vacuum chambers	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU