Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
APPLICATION OF THE HARRINGTON FUNCTION IN SUBSTANTIATING THE CHOICE OF THE BEST EQUIPMENT FOR PLASMA PROCESSING OF MATERIALS
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2022
Языканглийский
  • Тазмеев Гаяз Харисович, автор
  • Тазмеева Рамиля Нуриахметовна, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Tazmeev B.K, Tsybulevsky V.V, Tazmeeva R.N, Application of the Harrington function in substantiating the choice of the best equipment for plasma processing of materials//Journal of Physics: Conference Series. - 2022. - Vol.2270, Is.1. - Art. №012013.
    Ключевые слова low current plasma
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85131855051&doi=10.1088%2f1742-6596%2f2270%2f1%2f012013&partnerID=40&md5=59d53fbc27b0431e809c8e92f4f365b9
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=270989

    Полная запись метаданных