Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
Год публикации | 2024 |
Язык | английский |
|
Ахметшин Станислав Динарович, автор
Войнаш Сергей Александрович, автор
Загидуллин Рамиль Равильевич, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Katasonov A., Malikov V., Voinash S., Vornacheva I., Zagidullin R., Akhmetshin S. Measuring the thickness of thin metal films using an eddy current software and hardware complex//Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - 2024. - Vol.12986, Is.. - Art. №1298608. |
Ключевые слова |
thin metal films, film thickness, eddy current transducer, signal level, signal dependence |
Название журнала |
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
|
URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85184290833&doi=10.1117%2f12.3016516&partnerID=40&md5=df7989cd9730aa53d2f43f28fdc945b3 |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=295942 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Ахметшин Станислав Динарович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Войнаш Сергей Александрович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Загидуллин Рамиль Равильевич |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2024-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2024-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2024 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Katasonov A., Malikov V., Voinash S., Vornacheva I., Zagidullin R., Akhmetshin S. Measuring the thickness of thin metal films using an eddy current software and hardware complex//Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - 2024. - Vol.12986, Is.. - Art. №1298608. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=295942 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
thin metal films |
ru_RU |
dc.subject |
film thickness |
ru_RU |
dc.subject |
eddy current transducer |
ru_RU |
dc.subject |
signal level |
ru_RU |
dc.subject |
signal dependence |
ru_RU |
dc.title |
Measuring the thickness of thin metal films using an eddy current software and hardware complex |
ru_RU |
dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|