Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
MEASURING THE THICKNESS OF THIN METAL FILMS USING AN EDDY CURRENT SOFTWARE AND HARDWARE COMPLEX
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2024
Языканглийский
  • Ахметшин Станислав Динарович, автор
  • Войнаш Сергей Александрович, автор
  • Загидуллин Рамиль Равильевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Katasonov A., Malikov V., Voinash S., Vornacheva I., Zagidullin R., Akhmetshin S. Measuring the thickness of thin metal films using an eddy current software and hardware complex//Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. - 2024. - Vol.12986, Is.. - Art. №1298608.
    Ключевые слова thin metal films, film thickness, eddy current transducer, signal level, signal dependence
    Название журнала Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85184290833&doi=10.1117%2f12.3016516&partnerID=40&md5=df7989cd9730aa53d2f43f28fdc945b3
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=295942

    Полная запись метаданных