Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
Год публикации | 2024 |
Язык | английский |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin A.Y., Simulation of Low-Pressure Inductively Coupled Plasma with Displacement Potential and Gas Flow//Plasma Physics Reports. - 2024. - Vol.50, Is.1. - P.89-100. |
Ключевые слова |
ВЧ-плазма, пониженное давление, математическое моделирование |
Название журнала |
Plasma Physics Reports
|
URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85190517291&doi=10.1134%2fS1063780X23601694&partnerID=40&md5=41802590a782cf9f5ea51fac069db9c3 |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=299280 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2024-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2024-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2024 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Shemakhin A.Y., Simulation of Low-Pressure Inductively Coupled Plasma with Displacement Potential and Gas Flow//Plasma Physics Reports. - 2024. - Vol.50, Is.1. - P.89-100. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=299280 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Plasma Physics Reports |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
ВЧ-плазма |
ru_RU |
dc.subject |
пониженное давление |
ru_RU |
dc.subject |
математическое моделирование |
ru_RU |
dc.title |
Simulation of Low-Pressure Inductively Coupled Plasma with Displacement Potential and Gas Flow |
ru_RU |
dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|