Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
SIMULATION OF LOW-PRESSURE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA WITH DISPLACEMENT POTENTIAL AND GAS FLOW
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2024
Языканглийский
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Shemakhin A.Y., Simulation of Low-Pressure Inductively Coupled Plasma with Displacement Potential and Gas Flow//Plasma Physics Reports. - 2024. - Vol.50, Is.1. - P.89-100.
    Ключевые слова ВЧ-плазма, пониженное давление, математическое моделирование
    Название журнала Plasma Physics Reports
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85190517291&doi=10.1134%2fS1063780X23601694&partnerID=40&md5=41802590a782cf9f5ea51fac069db9c3
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=299280

    Полная запись метаданных