КФУ. Карточка публикации. Research of plasma impact on migration of silicon in ceramic substrates prepared on the basis of MgO

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

RESEARCH OF PLASMA IMPACT ON MIGRATION OF SILICON IN CERAMIC SUBSTRATES PREPARED ON THE BASIS OF MGO

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2019

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Кашапов Наиль Фаикович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Kaleeva A.A, Dautov I.G, Kashapov N.F, Research of plasma impact on migration of silicon in ceramic substrates prepared on the basis of MgO//Journal of Physics: Conference Series. - 2019. - Vol.1328, Is.1. - Art. № 012030.

Ключевые слова

MgO

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85076209295&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1328%2f1%2f012030&partnerID=40&md5=372a1fbbc5d3ac235986d884d67506f8

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=301816

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Кашапов Наиль Фаикович	ru_RU
dc.date.accessioned	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2019	ru_RU
dc.identifier.citation	Kaleeva A.A, Dautov I.G, Kashapov N.F, Research of plasma impact on migration of silicon in ceramic substrates prepared on the basis of MgO//Journal of Physics: Conference Series. - 2019. - Vol.1328, Is.1. - Art. № 012030.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=301816	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Research of plasma impact on migration of silicon in ceramic substrates prepared on the basis of MgO	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU