КФУ. Карточка публикации. Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом

RUS

- EN
- 中文
- ES

РЕАКТИВНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ОКСИДА ВОЛЬФРАМА, ЛЕГИРОВАННОГО МОЛИБДЕНОМ

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2024

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Салахов Мякзюм Халимулович, автор

Тагиров Ленар Рафгатович, автор

Другие авторы

Лядов Николай Михайлович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Маликов Инсаф Фанисович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом / И.Ф. Маликов, Н.М. Лядов, М.Х. Салахов, Л.Р. Тагиров // Журнал Технической Физики. – 2024. – Т.94, В.1. – С.71-79.

Аннотация

Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама.

Ключевые слова

электрохромизм, триоксид вольфрама, легирование молибденом, оптическое пропускание, спектроскопическая эллипсометрия

Название журнала

Журнал технической физики

URL

https://journals.ioffe.ru/articles/56904

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=306796

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
MalikovIF___ZhTF_2024.pdf	2,37	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Салахов Мякзюм Халимулович	ru_RU
dc.contributor.author	Тагиров Ленар Рафгатович	ru_RU
dc.contributor.author	Лядов Николай Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Маликов Инсаф Фанисович	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2024	ru_RU
dc.identifier.citation	Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом / И.Ф. Маликов, Н.М. Лядов, М.Х. Салахов, Л.Р. Тагиров // Журнал Технической Физики. – 2024. – Т.94, В.1. – С.71-79.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=306796	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	электрохромизм	ru_RU
dc.subject	триоксид вольфрама	ru_RU
dc.subject	легирование молибденом	ru_RU
dc.subject	оптическое пропускание	ru_RU
dc.subject	спектроскопическая эллипсометрия	ru_RU
dc.title	Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU