КФУ. Карточка публикации. A Two-Dimensional Axisymmetric Model for the Low Pressure Inductively Coupled RF Plasma with Gas Flow

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

A TWO-DIMENSIONAL AXISYMMETRIC MODEL FOR THE LOW PRESSURE INDUCTIVELY COUPLED RF PLASMA WITH GAS FLOW

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2024

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Samsonova E.S, Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y, A Two-Dimensional Axisymmetric Model for the Low Pressure Inductively Coupled RF Plasma with Gas Flow//High Energy Chemistry. - 2024. - Vol.58, Is.Suppl 3. - P.S393-S399.

Ключевые слова

RF plasma, mathematical modeling

Название журнала

HIGH ENERGY CHEMISTRY

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85213680701&doi=10.1134%2fS0018143924701224&partnerID=40&md5=fddfead90cad8ebef79203771c997787

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=312453

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2024	ru_RU
dc.identifier.citation	Samsonova E.S, Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y, A Two-Dimensional Axisymmetric Model for the Low Pressure Inductively Coupled RF Plasma with Gas Flow//High Energy Chemistry. - 2024. - Vol.58, Is.Suppl 3. - P.S393-S399.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=312453	ru_RU
dc.description.abstract	HIGH ENERGY CHEMISTRY	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	mathematical modeling	ru_RU
dc.title	A Two-Dimensional Axisymmetric Model for the Low Pressure Inductively Coupled RF Plasma with Gas Flow	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU