КФУ. Карточка публикации. Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда

RUS

- EN
- 中文
- ES

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ЗАДАННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПУТЕМ КОНТРОЛЯ СТЕПЕНИ ПОЛЯРИЗАЦИИ ОТРАЖЕННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ОТ МАТЕРИАЛА, ПОЛУЧЕННОГО ПУТЕМ РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2013

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Исрафилов Данис Ирекович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда./Исрафилов Д.И., Чернова М.А., Нугуманова А.И.//Научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» 2013

Аннотация

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013

Ключевые слова

вакуум, система управления, тлеющий разряд

Название журнала

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=75184

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Исрафилов Данис Ирекович	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда./Исрафилов Д.И., Чернова М.А., Нугуманова А.И.//Научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» 2013	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=75184	ru_RU
dc.description.abstract	Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	вакуум	ru_RU
dc.subject	система управления	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.title	Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU