КФУ. Карточка публикации. Спектральная эллипсометрия поверхности кремния,имплантированного ионами кобальта

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ,ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ КОБАЛЬТА

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2013

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Осин Юрий Николаевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

В. В. Базаров, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, Ю. Н. Осин, А. Л. Степанов Спектральная эллипсометрия поверхности кремния, имплантированного ионами кобальта//Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. - 2013,

Ключевые слова

ионная имплантация

Название журнала

Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. Ежегодник 2009.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=84877

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	В. В. Базаров, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, Ю. Н. Осин, А. Л. Степанов Спектральная эллипсометрия поверхности кремния, имплантированного ионами кобальта//Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. - 2013,	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=84877	ru_RU
dc.description.abstract	Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. Ежегодник 2009.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Спектральная эллипсометрия поверхности кремния,имплантированного ионами кобальта	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU