| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2014 |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Другие авторы |
Cтрунин В.И.; Худайбергенов Г.Ж.; Желтухин В.С. |
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Cтрунин В.И., Худайбергенов Г.Ж., Шемахин А.Ю., Желтухин В.С. Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона. Вестник Омского университета. 2014. № 2 (72). С. 53-58. |
| Аннотация |
Вестник Омского университета. . № 2 (72). С. 53-58. |
| Ключевые слова |
SILANE ARGON PLASMA, RF GLOW DISCHARGE, AMORPHOUS SILICON, PECVD, PLASMA JETS, MATHEMATICAL MODELING, STATISTICAL MODELING, АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ, МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ |
| Название журнала |
Вестник Омского университета
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=86956 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2014 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Cтрунин В.И., Худайбергенов Г.Ж., Шемахин А.Ю., Желтухин В.С. Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона. Вестник Омского университета. 2014. № 2 (72). С. 53-58. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=86956 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Вестник Омского университета |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Вестник Омского университета. . № 2 (72). С. 53-58. |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Описана математическая модель струйного течения ВЧ-плазмы в переходном режиме при числах Кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для расхода газа Q = 10 ст. см 3/c. Модель построена на основе статистического подхода для нейтральной компоненты ВЧ-плазмы c учетом влияния распределенного по объему источника тепла. Приведены результаты расчета течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы при наличии в струе образца в первом приближении с учетом распределенного по объему источника тепла
|
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
SILANE ARGON PLASMA |
ru_RU |
| dc.subject |
RF GLOW DISCHARGE |
ru_RU |
| dc.subject |
AMORPHOUS SILICON |
ru_RU |
| dc.subject |
PECVD |
ru_RU |
| dc.subject |
PLASMA JETS |
ru_RU |
| dc.subject |
MATHEMATICAL MODELING |
ru_RU |
| dc.subject |
STATISTICAL MODELING |
ru_RU |
| dc.subject |
АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА |
ru_RU |
| dc.subject |
ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД |
ru_RU |
| dc.subject |
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД |
ru_RU |
| dc.subject |
ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК |
ru_RU |
| dc.subject |
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ |
ru_RU |
| dc.subject |
ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ |
ru_RU |
| dc.subject |
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ |
ru_RU |
| dc.subject |
СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ |
ru_RU |
| dc.title |
Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
