Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
Год публикации | 2014 |
Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Воробьев Вячеслав Валерьевич, Осин Юрий Николаевич, Степанов Андрей Львович Локальный анализ структуры пористого кремния, синтезированного нетрадиционным способом // Тезисы конференции ФизикА.СПб, -2014 |
Аннотация |
Тезисы конференции ФизикА.СПб |
Ключевые слова |
пористый кремний, ионная имплантация |
Название журнала |
Тезисы конференции ФизикА.СПб
|
URL |
http://reg.physica.spb.ru/thesises2014.php |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=90126 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2014 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Воробьев Вячеслав Валерьевич, Осин Юрий Николаевич, Степанов Андрей Львович Локальный анализ структуры пористого кремния, синтезированного нетрадиционным способом // Тезисы конференции ФизикА.СПб, -2014 |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=90126 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Тезисы конференции ФизикА.СПб |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
пористый кремний |
ru_RU |
dc.subject |
ионная имплантация |
ru_RU |
dc.title |
Локальный анализ структуры пористого кремния, синтезированного нетрадиционным способом |
ru_RU |
dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|