КФУ. Карточка публикации. Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МАГНИТНОГО ПОЛЯ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2014

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Исрафилов Данис Ирекович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Тимеркаев Б.А. Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля/Тимеркаев Б.А., Галеев И.Г., Асадуллин Т.Я., Исрафилов Д.И.// Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция, 5 – 8 августа 2014 г.: сборник докладов. Том II. – Казань: Изд-во Казан. гос. техн. ун-та, 2014. –Стр. 40-41

Аннотация

Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция

Ключевые слова

тлеющий разряд, напыление

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=91215

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Исрафилов Данис Ирекович	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Тимеркаев Б.А. Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля/Тимеркаев Б.А., Галеев И.Г., Асадуллин Т.Я., Исрафилов Д.И.// Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция, 5 – 8 августа 2014 г.: сборник докладов. Том II. – Казань: Изд-во Казан. гос. техн. ун-та, 2014. –Стр. 40-41	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=91215	ru_RU
dc.description.abstract	Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	напыление	ru_RU
dc.title	Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU