| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2014 |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
| Другие авторы |
Ермаков; Валеев; Нуждин |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
A. L. Stepanov, V. V. Vorobev, Y. N. Osin, M.A. Ermakov, V. F. Valeev, V. I. Nuzhdin6Formation of Nanoporous Si and Ge Layers by Low-Energy Ag+-Ion Implantation// Scientific Journal of Microelectronics, July 2014, Vol. 4 Iss. 3, PP. 11-17 |
| Аннотация |
Scientific Journal of Microelectronics |
| Ключевые слова |
Nanoporous Silicon and Germanium; Silver Nanoparticles; Ion Implantation |
| Название журнала |
Scientific Journal of Microelectronics
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=92387 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2014-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2014 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
A. L. Stepanov, V. V. Vorobev, Y. N. Osin, M.A. Ermakov, V. F. Valeev, V. I. Nuzhdin6Formation of Nanoporous Si and Ge Layers by Low-Energy Ag+-Ion Implantation// Scientific Journal of Microelectronics, July 2014, Vol. 4 Iss. 3, PP. 11-17 |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=92387 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Scientific Journal of Microelectronics |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Formation of Nanoporous Si and Ge Layers
by Low-Energy Ag-Ion Implantation |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
