Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
ПОЛУЧЕНИЕ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2014
  • Бухараев Анастас Ахметович, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Лебедев Денис Владимирович, автор
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Степанов Андрей Львович, автор
  • Другие авторы Нуждин В. И.; Валеев В. Ф.;Евлюхин А. Б.
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Степанов А. Л., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Лебедев Д. В., Бухараев А. А., Воробьев В. В., Осин Ю. Н., Евлюхин А. Б. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации// Материалы девятой международной научной школы «Наука и инновации-2014» Iss «si-2014» – Йошкар-ола: Поволжский государственный технологический университет, 2014. – c. 79-87.
    Ключевые слова пористый кремний, ионная имплантация, наночастицы
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=93238

    Полная запись метаданных