КФУ. Карточка публикации. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ПОЛУЧЕНИЕ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2014

Авторы, сотрудники КФУ

Бухараев Анастас Ахметович, автор

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Лебедев Денис Владимирович, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Нуждин В. И.; Валеев В. Ф.;Евлюхин А. Б.

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Степанов А. Л., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Лебедев Д. В., Бухараев А. А., Воробьев В. В., Осин Ю. Н., Евлюхин А. Б. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации// Материалы девятой международной научной школы «Наука и инновации-2014» Iss «si-2014» – Йошкар-ола: Поволжский государственный технологический университет, 2014. – c. 79-87.

Ключевые слова

пористый кремний, ионная имплантация, наночастицы

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=93238

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Бухараев Анастас Ахметович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Лебедев Денис Владимирович	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Степанов А. Л., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Лебедев Д. В., Бухараев А. А., Воробьев В. В., Осин Ю. Н., Евлюхин А. Б. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации// Материалы девятой международной научной школы «Наука и инновации-2014» Iss «si-2014» – Йошкар-ола: Поволжский государственный технологический университет, 2014. – c. 79-87.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=93238	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	наночастицы	ru_RU
dc.title	Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU