KFU. Card publication. Способ изготовления пористого кремния

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

Form of presentation

Russian patents

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev Valeriy Ferdinandovich, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Bibliographic description in the original language

Pat. 2547515 Rossiyskaya Federaciya, MPK S30B 31/22; S30B 29/06; S01B 33/02; B82B 3/00; B82Y 30/00; B82Y 40/00 . SPOSOB IZGOTOVLENIYa PORISTOGO KREMNIYa/ Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Osin Yu.N.- № 2014114101/05, zayavl. 09.04.2014, opubl.10.04.15, Byul.№ 10. - 2 s.

Keywords

кремний, пористый кремний, ионная имплантация

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=106906&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Patent.2547515.pdf	0,23	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev Valeriy Ferdinandovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Пат. 2547515 Российская Федерация, МПК С30B 31/22; С30B 29/06; С01B 33/02; B82B 3/00; B82Y 30/00; B82Y 40/00 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н.- № 2014114101/05, заявл. 09.04.2014, опубл.10.04.15, Бюл.№ 10. - 2 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=106906&p_lang=2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.title	Способ изготовления пористого кремния	ru_RU
dc.type	Russian patents	ru_RU