KFU. Card publication. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

Form of presentation

Russian patents

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev Valeriy Ferdinandovich, author

Galyautdinov Mansur Falyakhutdinovich, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Bibliographic description in the original language

Pat. 2544873 Rossiyskaya Federaciya, MPK G02B 5/18; H01L 21/265; H01L 21/425 . SPOSOB IZGOTOVLENIYa DIFRAKCIONNOY REShETKI/ Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Galyautdinov M.F., Osin Yu.N.- № 2013158578/28, zayavl. 27.12.2013, opubl.20.03.15, Byul.№ 8. - 3 s

Keywords

пористый кремний, ионная имплантация, дифракционная решетка

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=106907&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev Valeriy Ferdinandovich	ru_RU
dc.contributor.author	Galyautdinov Mansur Falyakhutdinovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Пат. 2544873 Российская Федерация, МПК G02B 5/18; H01L 21/265; H01L 21/425 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2013158578/28, заявл. 27.12.2013, опубл.20.03.15, Бюл.№ 8. - 3 с	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=106907&p_lang=2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	дифракционная решетка	ru_RU
dc.title	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ	ru_RU
dc.type	Russian patents	ru_RU