KFU. Card publication. Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

МОДИФИКАЦИЯ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev V F, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V., Osin Yu.N., Valeev V.F., Nuzhdin V.I., Stepanov A.L. Modifikaciya struktury poverkhnosti kremniya pri implantacii ionami serebra// Sbornik materialov XLV Mezhdunarodnoy Tulinovskoy konferencii po fizike vzaimodeystviya zaryazhennykh chastic s kristallami, Moskovskiy Gosudarstvennyy Universitet, – g. Moskva, 26-28 maya 2015. – S. 355

Annotation

Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Keywords

пористый кремний, наночастицы серебра, ионная имплантация

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=110886&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Степанов А.Л. Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра// Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Московский Государственный Университет, – г. Москва, 26-28 мая 2015. – С. 355	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=110886&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник материалов XLV Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	наночастицы серебра	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.title	Модификация структуры поверхности кремния при имплантации ионами серебра	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU