KFU. Card publication. Исследование поверхности кремния, последовательно имплантированного ионами германия и серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНО ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ ГЕРМАНИЯ И СЕРЕБРА

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2016

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

BAttalov RAfael Ilyasovich, author

Bayazitov R M, author

Valeev V F, author

Nuzhdin V I, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Batalov R. I., Vorobyov V. V., Nuzhdin V. I., Valeev V. F., Bayazitov R. M., Osin Yu. N., Stepanov A. L., Issledovanie poverkhnosti kremniya, posledovatelno implantirovannogo ionami germaniya i serebra // Ezhegodnik kazanskogo fiziko-tekhnicheskogo instituta KazNC RAN. – 2015, S. 82-85, ISBN 978-5-94469-035-7

Annotation

Ежегодник казанского физико-технического института КазНЦ РАН

Keywords

Пористый кремний, нанчастицы, ионная имплантация

The name of the journal

Ежегодник КФТИ-2007

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=133873&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
082_Batalov.pdf	2,19	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	BAttalov RAfael Ilyasovich	ru_RU
dc.contributor.author	Bayazitov R M	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V I	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Баталов Р. И., Воробьёв В. В., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Баязитов Р. М., Осин Ю. Н., Степанов А. Л., Исследование поверхности кремния, последовательно имплантированного ионами германия и серебра // Ежегодник казанского физико-технического института КазНЦ РАН. – 2015, С. 82-85, ISBN 978-5-94469-035-7	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=133873&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Ежегодник КФТИ-2007	ru_RU
dc.description.abstract	Ежегодник казанского физико-технического института КазНЦ РАН	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Пористый кремний	ru_RU
dc.subject	нанчастицы	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.title	Исследование поверхности кремния, последовательно имплантированного ионами германия и серебра	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU